Analisis objek pemrosesan
Bahan: kaca kuarsa kelas optik
Fitur pemrosesan: penggerindaan-kontur permukaan multi (termasuk 3 sisi asimetris)
Dimensi kunci: 16×16×10mm (kesalahan ±0,002mm)
Prisma kuarsa ini, yang hanya seukuran kuku jari tangan, adalah elemen-penuntun cahaya inti dari sistem optik mesin litografi-kelas atas dalam negeri. 8 permukaan lengkung kompleksnya harus mencapai transmitansi 99,6% dan akurasi refraksi tingkat nanometer, dan kekasaran permukaan secara langsung memengaruhi resolusi eksposur mesin litografi.
Masalah industri dan kesulitan teknis
Sebuah perusahaan teknologi optik mengalami hambatan dalam pemrosesan prisma kuarsa saat mempromosikan lokalisasi mesin litografi:
Cacat penggilingan tradisional: Kekasaran setelah pemolesan manual masih mencapai Sa 120nm, sehingga kehilangan hamburan cahaya sebesar 15%
Ketergantungan peralatan pada impor: Harga sebuah penggiling ultra-presisi Jepang melebihi 20 juta yuan, dan jangka waktu pengirimannya mencapai 18 bulan
Krisis hasil: Hanya 32 dari 500 produksi uji coba gelombang pertama yang memenuhi standar, sehingga sangat menghambat kemajuan proyek
Dilema “tidak mampu membeli peralatan impor, dan proses dalam negeri tidak baik” secara langsung menghalangi proses pengembangan mesin litografi mandiri.
BISHENsolusi solusi
Menanggapi persyaratan presisi ekstrem pada komponen optik, tim teknis BISHEN telah mengembangkan penelitian dan pengembangan inovatif:
1. Sistem pemrosesan tautan lima sumbu vertikal ultrasonik
Kompensasi dinamis tingkat 2. 0.1μm-, kontrol presisi pada peralatan mesin linkage 18-sumbu
3. Mencocokkan pemrograman cerdas CAD/CAM permukaan asimetris
4. Teknologi penggilingan berbantuan ultrasonik frekuensi tinggi
5. 40getaran ultrasonik kHz mengurangi 52% tekanan pemotongan dan menghindari retakan mikro kuarsa
6. Umur roda gerinda bubuk mikro-berlian diperpanjang 3 kali lipat
Lompatan kinerja terukur yang sebenarnya
Tiga terobosan besar telah dicapai dalam produksi massal prisma mesin litografi domestik jenis tertentu:
1.Kualitas permukaan: Kekasaran Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Efisiensi pemrosesan: Jam kerja-sepotong dikompresi dari 14 jam menjadi 3,5 jam
3. Pengendalian biaya: Investasi peralatan hanya 1/5 dari solusi impor
Tingkat hasil batch pertama yang terdiri dari 3.000 produk melonjak hingga 98,7%, membantu pelanggan menyelesaikan perakitan prototipe 6 bulan lebih cepat dari jadwal
tentangBISHEN
BISHENPrecision Technology (didirikan pada tahun 2017) berfokus pada terobosan teknologi "hambatan" di bidang-manufaktur kelas atas. Mereka telah membangun pabrik digital seluas 7.500 meter persegi di Dongguan, dilengkapi dengan cluster peralatan yang diimpor seperti pusat permesinan linkage lima-sumbu dan penggiling optik ultra-presisi. Dengan menerapkan teknologi inovatif seperti permesinan ultrasonik dan pemotongan kriogenik pada peralatan semikonduktor, instrumen optoelektronik, dan bidang lainnya, perusahaan ini telah memberikan solusi pemrosesan suku cadang penting bagi lebih dari 20 perusahaan rantai industri mesin litografi dalam negeri, dan telah mengirimkan lebih dari 500.000 komponen optik presisi.
