Studi kasus: Terobosan dalam pemrosesan substrat kaca kuarsa
Objek pemrosesan: substrat kaca kuarsa untuk fotolitografi
Spesifikasi:
Bahan: kaca kuarsa dengan kemurnian tinggi-99,99%.
Fitur pemrosesan: talang C0.2 dua sisi- + dinding samping vertikal
Persyaratan permukaan: Ra <150nm (tingkat cermin)
Ukuran: 145×145×5,5mm±0,01mm
Analisis titik kesulitan pemrosesan industri
Sebagai bahan habis pakai inti peralatan manufaktur semikonduktor, suku cadang kuarsa untuk fotolitografi harus memenuhi tiga standar ketat secara bersamaan: transmitansi material > 99,6%, toleransi dimensi ±10μm, dan kekasaran dinding samping Ra <150nm. Metode pengolahan tradisional menggunakan proses penggilingan roda gerinda, yang memiliki dua masalah industri utama:
Kemacetan efisiensi:-pemrosesan satu bagian memerlukan waktu hingga 120 menit
Cacat permukaan: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Kehilangan alat: umur alat biasa kurang dari 50 buah
BISHENinovasi teknologi solusi
Mengingat karakteristik bahan kuarsa yang keras dan rapuh, maka kompositsolusi pengolahandiadopsi:
• Sistem pengukiran dan penggilingan presisi ultrasonik 20kHz
• Pemotong penggilingan bilah mikro-PCD integral (tepi R0,05mm)
• Proses pemotongan berlapis aksial (2μm per lapisan)
Perbandingan keuntungan pemrosesan yang diukur
Melalui verifikasi dan perbandingan proses, indikator-indikator utama telah ditingkatkan secara signifikan:
Nilai Aplikasi Industri
Solusi ini berhasil memecahkan masalah pemrosesan "bottleneck" dalam proses lokalisasi suku cadang mesin litografi, meningkatkan kapasitas produksi substrat kuarsa dari 10 buah per hari menjadi 50 buah, dan tingkat kualifikasi pemrosesan dari 63% menjadi 98,5%. Menurut deteksi interferometer laser Zeiss, nilai PV akurasi permukaan pemrosesan adalah<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
TentangBISHEN
Presisi Bishenmengkhususkan diri dalam pemrosesan suku cadang perangkat keras presisi, dengan bengkel standar seluas 7.500 meter persegi, dan layanannya mencakup ruang angkasa, peralatan medis, robot industri, dan bidang lainnya. Dengan kemampuan untuk memproses komponen struktural yang kompleks dan sertifikasi sistem ISO, perusahaan ini memberikan pelanggan solusi-proses lengkap mulai dari desain dan pengembangan hingga produksi massal.
